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职位月薪: 面议
岗位职责: 1、负责薄膜、介质、金属、硅基材料干法刻蚀工艺开发、参数调试与量产维护,掌握感应耦合/电容耦合刻蚀机台常规工艺;或负责晶圆/玻璃基板湿法刻蚀、清洗、去胶、剥离工艺的开发、调试与量产维护,管控整套湿法制程良率与稳定性; 2、负责优化刻蚀关键参数,管控刻蚀速率、均匀性、选择比、垂直度、底切、粗糙度等核心指标;或优化药液配比、浸泡时间、温度、喷淋流量、传输速度等参数,管控刻蚀速率、均匀性、选择比、表面粗糙度、良率等关键指标; 3、负责工艺异常分析与改善,解决刻蚀不全、过刻、残留、侧蚀、微沟槽、颗粒、台面异常等缺陷;或解决刻蚀不均、残留、过刻、表面水痕、颗粒、氧化污染、剥离不干净等常见缺陷,持续提升良率与制程稳定性; 4、负责配合光刻、薄膜、量测等团队完成新产品、新工艺导入,通过DOE实验验证工艺窗口,固化最优工艺Recipe; 5、负责日常监控机台状态、腔体洁净度、耗材寿命,执行PM保养、腔体清洗、复机验证,编写SOP、工艺报告与变更文档;或负责药液更换、槽体维护、耗材管控、产线日常点检,编写SOP、工艺报告、异常改善报告与工艺变更资料。 任职要求: 1、 硕士及以上,微电子、光学工程、材料、物理、半导体、应用物理、化工等相关专业; 2、 熟悉干法刻蚀基本原理,了解RIE、ICP刻蚀工艺及常见工艺气体体系;或熟悉湿法刻蚀、光刻胶剥离、酸碱清洗工艺原理,了解常见刻蚀药液体系与材料腐蚀特性,悉半导体/微纳光学洁净室作业规范,了解薄膜沉积、光刻、刻蚀配套工艺流程; 3、 具备独立工艺调试、数据分析、异常根因分析及良率提升能力;有干法或湿法刻蚀设备实操经验者优先;做事严谨细致,具备良好的执行力、数据复盘能力与跨部门协作能力; 4、 CET-6;能阅读英文技术文档及设备手册。 5、 逻辑清晰、执行力强,可适配研发迭代及量产稳定需求;做事严谨细致,具备良好的执行力、数据复盘能力与跨部门协作能力; 6、 有半导体厂或微纳加工平台刻蚀工艺实习/课题/项目经历;熟悉DOE实验设计与统计分析;了解SEM、台阶仪、椭圆偏光仪等量测设备的使用与数据分析。
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