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岗位职责: 1. 压力MEMS结构与版图设计- 负责压力MEMS传感器的原理与结构设计,完成版图绘制;进行压力MEMS结构的力学仿真、模态分析、应力应变仿真、频响与温漂等多物理场仿真- 负责压力MEMS产品相关规格书、DFMEA、DFT等设计文档撰写 2. 工艺开发与优化- 与晶圆厂工艺工程师协作,确定合理的工艺参数,确保设计与MEMS加工工艺的匹配- 与晶圆厂工程师协作,主导MEMS传感器产品的工艺优化及改进;涵盖光刻、薄膜沉积、刻蚀、键合、封装等关键工艺步骤的开发与验证- 制定并完善实验批DOE,解决工艺过程中出现的问题,提高产品良率和性能 3. 测试与数据分析- 执行工艺实验,收集并分析实验数据,通过SPC等手段对工艺稳定性进行监控;运用数据分析工具,进行良率趋势分析与异常预警- 与部门内工程师配合,搭建测试平台,验证传感器性能与指标- 建立量产监控指标体系,推动制程标准化,提高产品良率 4. 跨部门协作- 与产品、封装、测试等团队紧密合作,参与产品从研发到量产的全过程,解决厂内及客户端相关异常问题- 与代工厂沟通流片加工,跟进加工进度;遇到工艺异常问题,能独立主导调查与根因分析,输出调查报告任职条件: 1. 教育背景:- 微机电(MEMS)、微电子科学与工程、电子科学与技术、集成电路科学与工程、机械工程(微机电系统方向) 以及仪器科学与技术等相关专业,硕士及以上学历优先 2. 专业知识- 了解MEMS传感器的工作原理与设计方法,熟悉压阻、电容等典型传感机理;精通MEMS制造工艺原理,熟悉光刻、薄膜沉积、刻蚀、键合、封装等关键技术- 具备MEMS传感器产品研发经验或MEMS工艺开发经验,有完整产品从设计到量产经验者优先 3. 技能要求- 熟练使用MEMS设计与仿真软件:COMSOL、ANSYS、Coventor等- 熟悉版图绘制工具:L-Edit、K-Layout、AutoCAD等- 具备出色的实验设计与数据分析能力,能熟练运用MATLAB等进行数据处理 5. 软技能- 良好的跨部门沟通与协作能力,能够高效对接晶圆厂、封装厂等外部合作伙伴- 具备问题解决能力与产品意识,关注产品可靠性- 具备技术文档撰写能力,英文可作为工作语言
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